洁净室压差控制
发布时间：2022-07-16
洁净室压差控制
洁净室（区）与周围的空间必须维持一定的压差，并应按工艺要求决定维持正压差或负压差。
不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5Pa，洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa，洁净区与室外的压差不应小于10Pa。
洁净室维持不同的压差值所需的压差风量，根据洁净室特点，宜采用缝隙法或换气次数法确定。
送风、回风和排风系统的启闭宜联锁。正压洁净室联锁程序应先启动送风机，再启动回风机和排风机；关闭时联锁程序应相反。
负压洁净室联锁程序应与上述正压洁净室相反。
非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班送风，并应进行净化空调处理。
洁净室（区）与周围的空间必须维持一定的压差，并应按工艺要求决定维持正压差或负压差。
不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5Pa，洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa，洁净区与室外的压差不应小于10Pa。
洁净室维持不同的压差值所需的压差风量，根据洁净室特点，宜采用缝隙法或换气次数法确定。
送风、回风和排风系统的启闭宜联锁。正压洁净室联锁程序应先启动送风机，再启动回风机和排风机；关闭时联锁程序应相反。
负压洁净室联锁程序应与上述正压洁净室相反。
非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班送风，并应进行净化空调处理。
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