洁净室的气体系统

       洁净室气体系统施工包含工作压力一般不高于1MPa洁净的和高纯的永久气体、特种气体、医用气体、可燃气体、惰性气体输送管道以及真空吸引管道等的施工与验收。

       洁净室的管材及附件

       气体系统管道材质及附件，应按设计要求选配，如设计未作明确要求，选用时应与洁净室洁净度级别和输送气体性质相适应，并应符合下列规定：

       1 应使用无缝管材。

       2 管材内表面吸附、解吸气体的作用小。

       3 管材内表面应光滑、耐磨损。

       4 应具有良好的抗腐蚀性能。

       5 管材金属组织在焊接处理时不应发生变化。

       6 负压管道不宜采用普通碳钢管。

       所用管材应放在室内保管，不得重叠码放。管道应无裂纹、缩孔、夹渣、起瘤、折叠、重皮、锈斑、表面损伤等缺陷。管道应平直、圆滑。

       成品管外包装和相应管端头的管帽、堵头等密封措施应有效、无破损。

       氧气阀门必须采用专用产品，其密封圈应采用有色金属、聚四氟乙烯等材质。填料应采用经脱脂处理的聚四氟乙烯。

       采用铜材的高纯气体管路，可用不锈钢材质的附件，但在不锈钢材质的管路中，不应采用铜质的附件。